兼顾高生产率与高分辨率， 佳能发售FPD曝光设备新品“MPAsp-H1003H”

佳能将于2022年7月下旬发售FPD(Flat Panel Display)曝光设备新品“MPAsp-H1003H”。作为支持第8代玻璃基板尺寸*1的FPD曝光设备新产品,“MPAsp-H1003H”拥有1.5μm*2(L/S*3)的分辨率和±0.35μm的套合精度。 FPD曝光设备“MPAsp-H1003H” 近年来,随着远程办公[查看全文]